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潔凈室的潔凈度和對超出等級范圍粒子的檢測應(yīng)該符合哪些規(guī)定
作者：凈凈
發(fā)布時間：2022-03-30
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潔凈度的檢測應(yīng)符合下列規(guī)定：
1、應(yīng)用采樣量超過1L/min的光學(xué)粒子計數(shù)器，在檢測儀器選用時要充分考慮粒徑鑒別能力、粒子濃度適用的范圍和計數(shù)效率。檢測儀器需具有可行有效的標定合格證書。
2、最少采樣點數(shù)可按下面方式計算：
式中：NL——最少采樣點；
A——潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積(㎡)。
3、采樣點應(yīng)均勻的分散于潔凈室（區(qū)）的所有使用面積內(nèi)，并設(shè)在工作活動的高度，活動高度宜距室內(nèi)地坪0.8米；各個采樣點的最少采樣時長為1分鐘。
4、每一采樣點的一次采樣量應(yīng)最少為2升，采樣量應(yīng)按下面方式計算：
式中：VS——每個采樣點的每次采樣量，以L表示；當VS很大時，可使用順序采樣法；
Cn·m——被測潔凈室空氣潔凈度等級的被測粒徑的限值(pc/m3)；
20——在規(guī)定被測粒徑粒子的空氣潔凈度等級限值時，可測到的粒子顆數(shù)(pc)。
5、當潔凈室（區(qū)）只有一個采樣點時，則在該點最少采樣3次或以上。
對超出等級范圍粒子的檢測應(yīng)符合下列規(guī)定：
1、在產(chǎn)品制作工藝有要求時，可按等級粒徑范圍以外的粒子濃度值要求室內(nèi)空氣潔凈度等級的水平。此種粒子的最大濃度值和檢測方法應(yīng)由客戶與建造商商議判定。
2、當需評估小于0.1微米的粒子導(dǎo)致的空氣污染危險時，應(yīng)選用合乎這類粒子具體特性的采樣方法和設(shè)備；可單獨使用U描述符詳細說明超微粒子濃度值，也可將它做為飄浮粒子空氣潔凈度等級的補充說明。
U描述符用“U(χ，y)”表示，當中χ為超微粒子的最大濃度值(pc/m3)，y為以微米計的粒徑。
舉個例子：粒徑范圍等于或大于0.01微米的最大允許超微粒子的濃度值為每立方米140000個，應(yīng)表示為“U(140000，0.01微米)”。
3、當需評估大于5μm的粒子導(dǎo)致的空氣污染危險時，應(yīng)選用合乎這類粒子具體特性的采樣設(shè)備和采樣方法?？蓡为毷褂肕描述符詳細說明大于5μm的粒子濃度值，也可將它做為飄浮粒子室內(nèi)空氣潔凈度等級的補充說明。
M描述符用“M（a，b）；c”表示，當中a為大粒子的最大濃度值(pc/m3)，b為與要求的大粒子測量方法相對應(yīng)的當量直徑(微米)，c為要求的測量方法。
舉個例子：選用顯微鏡對多級碰撞采樣器采集的粒子開展檢測工作，測量得到10微米～20微米粒徑范圍的飄浮粒子濃度值為每立方米1000個，則用M描述符表示為“M(1000；10微米～20微米)；多級碰撞采樣器以顯微鏡測定粒徑并計數(shù)”。
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